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BROOKS清洁器 1900系列
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品牌： BROOKS
单价： 面议
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所在地： 美国
有效期至： 长期有效
最后更新： 2023-12-18 09:38
浏览次数： 57
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
全自动 EUV 吊舱处理
ISO 2 微型环境
ESD 和 AMC 控制环境
每个 pod 的 N2/xCDA 清除
吹扫流量验证
用于去除 AMC 化合物的高真空净化室
现场测量能力
可以手动备份
OHT接口 
 
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