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VAT 25.1 高压气缸阀系列
25.1 HV 气缸阀系列设计用于具有腐蚀性和携带颗粒气体的恶劣工艺环境,例如次晶圆厂工艺。它的布局可实现*大电导,并可采用内
2024-12-09 23:09
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VAT 25.7 高压快速切断阀系列
现代截止阀的主要要求是在任何回流事件时都能可靠且快速地紧急隔离。25.7 旨在提供灵敏、高速的隔离功能,可靠地防止回流到
2024-12-09 23:09
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VAT 54.1 UHV/XHV 全金属角阀系列
54.1 全金属角阀配备了 FLEX VATRING,*种硬对硬密封技术。这种动态的全金属密封系统的特点是*致的密封和恒定的关闭力。它可
2024-12-09 23:09
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VAT 79.0 特高压挡束器系列
光束限位器的主要要求是可靠的作用限位机构。 79.0 光束阻挡器系列可在 UHV 和 XHV 应用中提供可靠的能量辐射保护。带有
2024-12-09 23:09
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VAT 高压控制闸阀64.2 系列
64.2 HV 控制闸阀专为高循环真空工艺(例如半导体生产中的溅射或蚀刻工艺)中可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足耐用性、
2024-12-09 23:09
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VAT 高压摆式控制阀65.3 系列
65.3 变压控制阀为下游压力控制和隔离设立了新标准。该系列变压控制阀专为半导体和显示器生产系统而设计,可在较宽的电导范
2024-12-09 23:09
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VAT 01.0 迷你特高压闸阀系列
01.0 迷你特高压闸阀系列采用 VAT 的专利 MonOVAT 技术,该技术专门开发用于提供可靠的闸门密封,无任何摩擦。凭借 MonOVAT
2024-12-09 23:09
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VAT 09.1 带保护环的高压闸阀系列
气流中副产品的比例非常高,可能会导致阀门故障以及由于沉积物的形成而导致计划外的维护工作。带保护环的 09.1 HV 闸阀可防
2024-12-09 23:09
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VAT 大FV闸阀19.0系列
19.0 大型闸阀系列专为需要超大尺寸的应用(例如空间模拟应用)提供可靠隔离而设计。该系列设计直径*大为 DN 1250 mm (50),
2024-12-09 23:09
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VAT 蝶阀21.0FV系列
21.0 FV 蝶阀提供与标准闸阀相同的可靠真空隔离,并具有占地面积要求较低的优点。蝶形原理与紧凑型执行器设计相结合,允许在
2024-12-09 23:09
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VAT 26.4 高压角阀系列
角阀的关键性能指标是可靠性和可变性。26.4 HV 角阀系列同时满足这两个要求。26.4 系列在各种工艺条件下经过数千个要求严格
2024-12-09 23:09
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VAT 高压闸阀11.1 系列
11.1 HV 闸阀系列配备了专门开发的 VATLOCK 技术,可提供可靠的密封,闸板密封处不会产生任何摩擦。由于关闭终端位置的机械
2024-12-09 23:09
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VAT 75.0特高压快关阀系列
快速关闭阀的主要要求是在出现空气涌入时能够快速可靠地做出反应。由于泄漏而失去 UHV 或 XHV 环境,特别是在加速器或存储环
2024-12-09 23:09
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VAT 02.4 带 MONOVAT 的大型输送阀系列
配备 MonOVAT 的 02.4 大型输送阀专为满足高真空条件下有机材料气相沉积系统的特殊要求而开发。02.4 专为高循环生产系统而设
2024-12-09 23:09
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VAT 大型高压摆式隔离阀16.8 系列
2024-12-09 23:09
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VAT 泄压阀21.2系列
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VAT 气体计量阀62.7系列
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VAT 隔膜阀22.0系列
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VAT 气体计量阀21.1系列
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VAT 特高压闸阀10.8 系列
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