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INFICON 控制器Guardian EIES 系列

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品牌：	INFICON
单价：	面议
起订：
供货总量：
货期：	现货
所在地：	瑞士
有效期至：	长期有效
最后更新：	2023-08-14 16:49
浏览次数：	7

公司基本资料信息

产品详细说明

　　Guardian 可以将沉积速率控制在 0.1 至 10,000 ?/s 之间。它可操作*或两个传感器、*多 8 个光学输入并控制*多 8 个沉积源，从而实现*多 8 种材料的共沉积。

　　INFICON Guardian 非常适合光伏模块、OLED、光伏、超导薄膜和 MBE 制造等应用。

　　Guardian 共沉积系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES)。使用 EIES，沉积的材料被热离子发射器激发，从而产生光子。产生的光穿过滤光片到达光电倍增管 (PMT) 检测器，该检测器测量通过波长的发射强度。然后，INFICON Guardian 控制器会生成*个信号来控制该材料的来源。带有适当滤光片的附加检测器可用于多种材料。

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