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IMPAC 对称偏置波形发生器系列
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品牌： IMPAC
单价： 面议
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货期： 现货
所在地： 美国
有效期至： 长期有效
最后更新： 2023-06-12 14:18
浏览次数： 10
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 　　直接控制衬底电压和离子能量分布
　　eVoS? 平台可直接控制晶圆表面电压和离子能量分布，使工艺工程师能够针对特定工艺结果优化偏置性能。
　　取代传统的射频（正弦波）偏置功率传输系统
　　提供优化的非对称波形，可直接控制衬底电压和离子能量分布
　　解决了正弦波偏差的主要缺点：广泛、不受控制的离子能量分布
　　专有控制系统可直接控制晶圆偏置特性。支持多能量/多*脉冲
 
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