德国ERS

 　　德国ERS公司是 拥有强生产能力的开发公司，可实现真正的高产量交付性能目标。ERS的核心技术是为可靠的产品提供的晶圆温度测试技术，这种技术不仅能满足客户需求，而且提供基准开发。德国ERS公司于1970年生产出 个用于晶圆测试的温度卡盘，并从此引 业界。在80年代末，随着ERS的SuperCool®问世，自动晶圆探针台的真正生产中的冷测试成为可能。到90年代早期，ERS转向了纯空气冷却系统，完全改变了人们对其可靠性的期望。